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晶圓自動(dòng)挑片機(jī)FST-SC100S

用途：晶圓片在外延段生產(chǎn)完成后入庫(kù)，根據(jù)工單要求需要把與此工單對(duì)應(yīng)的晶圓片挑選整理匯總，以方便后制程芯片段生產(chǎn)。

全自動(dòng)：高度智能信息化系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)上片Cassette自動(dòng)掃碼，晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)下片、自動(dòng)生成及打印下片Cassette Label，自動(dòng)貼附Label，Wafer ID與下片Cassette Label綁定LINK后上傳至MES。

高配置：CCD自動(dòng)檢測(cè)、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過(guò)程伺服控制系統(tǒng)、全過(guò)程智能檢測(cè)系統(tǒng)。

高精度：晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm，±0.15度以內(nèi)。

人性化：成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語(yǔ)音提醒，既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程。